[发明专利]应用于大口径复杂曲面超快抛光的高频微幅振动抛光装置有效
| 申请号： | 201910754693.6 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN110450014B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 王旭;胡海翔;张斌智;薛栋林;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B13/01;B24B1/04 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 温子云 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于大口径复杂曲面超快抛光的高频微幅振动抛光装置，包括：可二维运动的音圈电机振动平台和安装在音圈电机振动平台上的柔性多层抛光盘；柔性多层抛光盘由依次连接的刚性抛光底板、柔性抛光层和抛光片组成；其中，柔性抛光层采用形变响应时间在几十毫秒到几百毫秒的弹性材料。通过控制每个维度的音圈电机振幅及相位可以合成实现抛光盘的指定振幅及指定方向的运动。使用本发明能够在保持面形误差的前提条件下快速提升表面粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 口径 复杂 曲面 抛光 高频 振动 装置 | ||
【主权项】：
1.一种应用于大口径复杂曲面超快抛光的高频微幅振动装置，其特征在于，包括：可二维运动的音圈电机振动平台和安装在音圈电机振动平台上的柔性多层抛光盘；/n柔性多层抛光盘由依次连接的刚性抛光底板、柔性抛光层和抛光片组成；柔性抛光层采用形变响应时间在几十毫秒到几百毫秒的弹性材料；/n通过控制每个维度的音圈电机振幅及相位可以合成实现抛光盘的指定振幅及指定方向的运动。/n
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