[发明专利]一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及显示面板有效
| 申请号： | 201910755659.0 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN110534578B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 单福凯;王珍;刘国侠 | 申请（专利权）人： | 青岛大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/10;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人： | 马金华 |
| 地址： | 266071 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及显示面板，所述制备方法包括步骤：提供一衬底；在所述衬底上制备介电层；在所述介电层上制备ZTO/SnO |
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| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 及其 制备 方法 阵列 显示 面板 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括步骤：/n提供一衬底；/n在所述衬底上制备介电层；/n在所述介电层上制备ZTO/SnO2双沟道层，其中，制备所述ZTO/SnO2双沟道层具体包括：/n在所述介电层上制备SnO2薄膜；/n在所述SnO2薄膜上制备ZTO薄膜；/n在所述ZTO/SnO2双沟道层上制备源电极和漏电极。/n
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