[发明专利]固体源升华器

摘要

本文公开了与固体源化学升华器容器和相应的沉积模块有关的系统和方法。固体源化学升华器可以包括配置成在其中保持固体化学反应物的壳体。盖可以布置在所述壳体的近侧部分上。所述盖可以包括流体入口和流体出口，并且在所述盖的远侧部分内限定蛇形流动路径。所述盖可以适于允许所述流动路径内的气流。所述固体源化学升华器可以包括布置在所述蛇形流动路径和所述壳体的远侧部分之间的过滤器。所述过滤器可以具有配置成限制固体化学反应物通过其中的孔隙率。