[发明专利]一种光刻机的投影物镜镜头在审
| 申请号： | 201910756374.9 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110531589A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 王瑶 | 申请（专利权）人： | 中山依瓦塔光学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B13/00 |
| 代理公司： | 44327 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 杨连华<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火炬开发区中心*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请为一种光刻机的投影物镜镜头，沿光轴从物面到像面依次至少包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜以及第八透镜，其中第一透镜的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第二透镜的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正；第三透镜的物面侧为凸面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第四透镜的物面侧为平面，像面侧为凹面，其光焦度为负；第五透镜的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第六透镜的物面侧为凹面，像面侧为凹面，其光焦度为负；第七透镜的物面侧为凹面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第八透镜的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正，本申请结构简单精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 物面 像面 光焦度 凸面 凹面 投影物镜 光刻机 光轴 申请 镜头 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机的投影物镜镜头，沿光轴从物面到像面依次至少包括：第一透镜(1)、第二透镜(2)、第三透镜(3)、第四透镜(4)、第五透镜(5)、第六透镜(6)、第七透镜(7)以及第八透镜(8)，其特征在于：/n所述第一透镜(1)的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；/n所述第二透镜(2)的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正；/n所述第三透镜(3)的物面侧为凸面，像面侧为凸面，其光焦度为正；/n所述第四透镜(4)的物面侧为平面，像面侧为凹面，其光焦度为负；/n所述第五透镜(5)的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；/n所述第六透镜(6)的物面侧为凹面，像面侧为凹面，其光焦度为负；/n所述第七透镜(7)的物面侧为凹面，像面侧为凸面，其光焦度为正；/n所述第八透镜(8)的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正。/n
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