[发明专利]一种利用化学腐蚀冰层辅助激光加工低锥度微孔的装置及方法有效
| 申请号： | 201910756535.4 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110625272B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 吴予澄;张朝阳;戴学仁;徐坤;王安斌;朱浩 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;C23F1/00;C23F1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用化学腐蚀冰层辅助激光加工低锥度微孔的装置及方法，属于特种加工技术中的微细加工领域；本发明利用高压氮气将化学腐蚀液制成化学腐蚀冰层，且与工件上表面紧密贴合，加工过程中不会有空气进入孔内，能够保证冰层融化后的液面上升高度。通孔完成后，腐蚀液进入孔内，可以清除激光产生的熔渣，改善孔内壁的表面质量。激光照射部分的化学腐蚀冰层会随着加工过程的进行逐渐溶解，当化学腐蚀冰层溶解后腐蚀液顺着孔的内壁流下，液面会产生一定的波纹状且两边高度高于中间，保证激光的反射和折射范围，且随着液面的上升，激光反射和折射的作用效果逐渐的减弱，从而改善整个内孔壁的质量和锥度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 化学 腐蚀 冰层 辅助 激光 加工 锥度 微孔 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用化学腐蚀冰层辅助激光加工低锥度微孔的装置，其特征在于，包括工件加工系统、制冷系统和控制系统；所述工件加工系统包括激光器(11)、反射镜(10)、聚焦透镜(9)和X-Y-Z工作台(3)；所述反射镜(10)将激光器(11)发出的激光束反射，反射后的激光束经聚焦透镜(9)聚焦后辐照在待加工工件(6)上；工作腔(4)设置在X-Y-Z工作台(3)上；待加工工件(6)由夹具(5)定位，待加工工件(6)设置在工作腔(4)内，工作腔(4)内有化学腐蚀溶液，激光加工前，制冷系统将化学腐蚀溶液变成化学腐蚀冰层(7)；所述控制系统用于控制激光器(11)和X-Y-Z工作台(3)的工作。/n
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