[发明专利]一种氮化镓薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201910757927.2 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN112390233A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 邓承雨;芦子哲 | 申请（专利权）人： | TCL集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/06 | 分类号： | C01B21/06 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;吴志益 |
| 地址： | 516006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化镓薄膜及其制备方法，其中，所述氮化镓薄膜的制备方法包括步骤：将镓盐溶液与胺类化合物混合，制备氮化镓前驱物溶液；将所述氮化镓前驱物溶液制成薄膜，在第一温度条件下对所述薄膜进行退火处理；在氨气氛围下将所述薄膜加热至第二温度，所述第二温度大于第一温度，制得所述氮化镓薄膜。本发明提供的氮化镓薄膜的制备方法对温度条件(温度不大于300℃)的要求较低，其操作简单，且制得的氮化镓薄膜均一性好，导电性能较佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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