[发明专利]基于外差激光干涉仪同时测量距离和位移的装置及其方法在审
申请号: | 201910757968.1 | 申请日: | 2019-08-16 |
公开(公告)号: | CN110412606A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 梁浴榕;李润兵;王谨;詹明生 | 申请(专利权)人: | 中国科学院武汉物理与数学研究所 |
主分类号: | G01S17/08 | 分类号: | G01S17/08;G01S7/48;G01B11/02;G01B9/02 |
代理公司: | 武汉宇晨专利事务所 42001 | 代理人: | 黄瑞棠 |
地址: | 430071 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于外差激光干涉仪同时测量距离和位移的装置及其方法,涉及激光干涉精密测量和数字信号处理领域。本装置包括待测物体(40),设置有信号源(10)、数字解调电路(20)和外差激光干涉仪(30);信号源(10)与外差激光干涉仪(20)连接,用于调制激光频率和驱动声光移频器;信号源(10)同时与数字解调电路(30)连接,用于提供参考信号;外差激光干涉仪(20)与待测物体(40)连通,用于产生激光干涉拍频信号;外差激光干涉仪(20)与数字解调电路(30)连接,用于提供拍频信号。本发明适用于激光测距的精密测量领域,可用于改善测距精度指标、以及制作高精度测量距离和位移的传感器件。 | ||
搜索关键词: | 外差激光干涉仪 数字解调电路 信号源 测量距离 待测物体 激光干涉 拍频信号 精密测量领域 数字信号处理 测距 高精度测量 声光移频器 传感器件 调制激光 激光测距 精度指标 精密测量 可用 连通 驱动 制作 | ||
【主权项】:
1.一种基于外差激光干涉仪同时测量距离和位移的装置,包括待测物体(40),其特征在于:设置有信号源(10)、外差激光干涉仪(20)和数字解调电路(30);其连接关系是:信号源(10)与外差激光干涉仪(20)连接,用于调制激光频率和驱动声光移频器;信号源(10)同时与数字解调电路(30)连接,用于提供参考信号;外差激光干涉仪(20)与待测物体(40)连通,用于产生激光干涉拍频信号;外差激光干涉仪(20)与数字解调电路(30)连接,用于提供拍频信号。
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