[发明专利]一种螺旋形流体动压抛光垫及其抛光方法在审
| 申请号： | 201910760471.5 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110480497A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 林彬;姜向敏;曹中臣 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B37/10;B24B37/26;B24B57/02;B24D11/00 |
| 代理公司： | 12201 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 王蒙蒙<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 300350 天津市津南区海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种螺旋形流体动压抛光垫及其抛光方法，改变传统球形工具和柱形工具的切点和切线抛光作用方式，将工具与工件之间的作用区域扩展到面接触方式，以提高抛光效率。本发明在抛光垫基体上的中心设置中心供液孔和中行储液区，在表面上设置螺旋形动压槽，且螺旋形动压槽均匀分布于抛光垫基体的表面上，在抛光加工过程中，将预先混合有抛光颗粒的抛光液以一压力从中心供液孔注入抛光垫与工件表面之间的液膜间隙中，同时抛光垫高速旋转，以增强液膜间隙内抛光液的动压效应，根据流体动力学理论，液膜间隙内流体动压力以及流体剪切力能够显著提高抛光液中颗粒冲蚀光学元件表面的效应，去除元件表面材料的，实现抛光的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光垫 抛光液 液膜间隙 抛光 动压槽 供液孔 螺旋形 动压 光学元件表面 抛光加工过程 中心设置中心 切线 流体动力学 流体动压力 流体剪切力 螺旋形流体 面接触方式 工件表面 抛光颗粒 抛光效率 抛光作用 球形工具 预先混合 元件表面 作用区域 储液区 膜间隙 增强液 中颗粒 切点 去除 柱形 | ||
【主权项】：
1.一种螺旋形流体动压抛光垫，其特征在于，包括：/n抛光垫基体(1)，所述抛光垫基体(1)固定在具有中心供液功能的抛光盘上，并能在所述抛光盘的驱动下做旋转运动；/n中心供液孔(2)，所述中心供液孔(2)设置在所述抛光垫基体(1)的中心，在抛光过程中，抛光液注入在所述中心供液孔(2)内；/n中心储液区(3)，所述中心储液区(3)设置在所述中心供液孔(2)的边缘处；以及，/n螺旋形动压槽，所述螺旋形动压槽均匀设置于所述抛光垫基体(1)的表面，所述螺旋形动压槽的内端部与所述中心储液区(3)相连通、外端部延伸至所述抛光垫基体(1)的边缘处，所述螺旋形动压槽将所述抛光液均匀分布在抛光垫与加工工件表面之间，随着抛光垫的旋转使得抛光垫与加工工件表面之间形成流体动压液膜。/n
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