[发明专利]极紫外辐射源装置在审
| 申请号： | 201910760764.3 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110837208A | 公开（公告）日： | 2020-02-25 |
| 发明（设计）人： | 杨基;林圣达;钟仁阳;简上傑;陈立锐;郑博中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种极紫外辐射源装置，包含腔室且腔室包围极紫外光收集镜。极紫外光收集镜配置以收集以及引导在腔室中产生的极紫外辐射。至少三个排放口配置以从腔室移除残余物。在一些实施例中，排放口对称地排列在垂直于极紫外光收集镜的光轴的平面上。在一些实施例中，三个排放孔中的任二相邻的排放口之间的角度为120度。在一些实施例中，四个排放孔中的任二相邻的排放口之间的角度为90度。在一些实施例中，腔室配置以维持压力在0.1毫巴至10毫巴的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 辐射源 装置 | ||
【主权项】：
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