[发明专利]一种光刻胶剥离试验一体机及光刻胶剥离方法有效
| 申请号： | 201910764271.7 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN110376855B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 顾玲燕;朱龙;李翔;任奕宇;承明忠 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G02F1/13 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶剥离试验一体机，包括柜体、设置在柜体内腔底部的基板承载组件、处理液喷射组件、底出液口、与处理液喷射组件和底出液口连通的处理液储槽或处理液源；柜体的侧壁上设置有敞口的出液槽，出液槽的顶端铰接设置有翻转导流板，出液槽的底端通过柜体侧壁的侧出液口与处理液储槽相通；翻转导流板与柜体之间还设置有翻转调节机构；翻转导流板与基板承载组件之间的柜体相对侧壁上分别固定设置有倾斜向下的第一导液板和第二导液板，第一导液板和第二导液板的自由侧边用于密封搭接或者密封叠合设置在翻转导流板的侧边上方，第一导液板的自由侧边位于出液槽的正上方。上述结构可减少置换液中的剥离液带出量，增加置换液回用次数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 剥离 试验 一体机 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶剥离试验一体机，包括柜体、设置在柜体内腔底部的基板承载组件、设置在所述基板承载组件上方的处理液喷射组件、设置在所述柜体底部的底出液口、与所述处理液喷射组件和底出液口连通的处理液储槽或处理液源；其特征在于，柜体的侧壁上设置有敞口的出液槽，出液槽的顶端铰接设置有翻转导流板，出液槽的底端通过所述柜体侧壁的侧出液口与所述处理液储槽相通；翻转导流板与所述柜体之间还设置有翻转调节机构；所述翻转导流板与基板承载组件之间的柜体相对侧壁上分别固定设置有倾斜向下的第一导液板和第二导液板，所述第一导液板和第二导液板的自由侧边与固定侧边相对，所述第一导液板和第二导液板的自由侧边用于密封搭接或者密封叠合设置在翻转导流板的侧边上方，第一导液板的自由侧边位于出液槽的正上方。
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