[发明专利]一种声表面波器件的频率特性连续调节检测方法及其检测系统及发生器在审
| 申请号： | 201910765544.X | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN110455403A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 董惠娟;杨泽浩;隋明扬;赵杰;李灏宇 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;G01H13/00 |
| 代理公司： | 11466 北京君恒知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 余威<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及检测方法，更具体的说是一种声表面波器件的频率特性连续调节检测方法及其检测系统及发生器，包括声表面波发生器、压电基片、一对叉指换能器和示波器，一对叉指换能器对置设置，声表面波发生器产生兆赫兹级激振频率，其中一个叉指换能器作为输入端和声表面波发生器连接，声表面波发生器激振频率可连续调节，可以通过步进连续调节声表面波发生器输出频率，进行连续扫频，利用检测端叉指换能器所接示波器读取并记录输出电压峰峰值，记录即得到实际的声表面波器件频率特性；还可以不停机连续改变负载检测声表面波器件的频率特性。 | ||
| 搜索关键词： | 叉指换能器 声表面波 发生器 声表面波器件 连续调节 频率特性 激振频率 示波器 发生器输出频率 读取 发生器连接 和声表面波 对置设置 负载检测 记录输出 检测系统 压电基片 兆赫兹级 不停机 电压峰 检测端 输入端 检测 步进 扫频 记录 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波器件的频率特性连续调节检测方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：/n步骤一：一对叉指换能器对置设置，其中一个叉指换能器作为输入端和声表面波发生器连接，其中另一个叉指换能器作为检测端和示波器连接；/n步骤二：仿真得到其设计谐振频率，在其90％-110％范围内，以0.1MHz为步进值连续调节声表面波发生器输出频率，设置输出电压峰峰值为20Vpp，进行连续扫频；/n步骤三：检测端叉指换能器所接示波器读取并记录输出电压峰峰值，电压峰峰值绘制成图，得到实际的声表面波器件频率特性。/n
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