[发明专利]用于齿轮泵齿轮表面的硬质硼碳复合薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201910767381.9 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN110607508A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 骆晔 | 申请（专利权）人： | 迈捷克纳米科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 44214 广州市红荔专利代理有限公司 | 代理人： | 胡昌国 |
| 地址： | 215131 江苏省苏州市相城经济技术开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于齿轮泵齿轮表面的硬质硼碳复合薄膜及其制备方法，用于齿轮泵齿轮表面的硬质硼碳复合薄膜包括梯度过渡层、硼碳复合功能层以及非晶碳层；用于齿轮泵齿轮表面的硬质硼碳复合薄膜的制备方法，包括以下步骤：等离子体轰击活化、沉积梯度过渡层、沉积硼碳复合功能层以及沉积非晶碳层。其采用磁控溅射技术获得，工艺稳定，可实现批量生产。且硬质硼碳复合薄膜具有低摩擦和高耐磨、高硬度与韧性一体化特性，能够有效提高齿轮泵组件的可靠性和服役寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 硼碳 复合薄膜 硬质 齿轮泵齿轮 沉积 复合功能层 梯度过渡层 非晶碳层 制备 磁控溅射技术 等离子体轰击 齿轮泵组件 服役寿命 工艺稳定 低摩擦 高耐磨 高硬度 活化 一体化 生产 | ||
【主权项】：
1.一种用于齿轮泵齿轮表面的硬质硼碳复合薄膜，其特征在于，包括：所述硬质硼碳复合薄膜包括梯度过渡层、硼碳复合功能层以及非晶碳层。/n
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