[发明专利]一种铸锭用籽晶、晶体硅的铸锭方法和晶体硅在审
申请号: | 201910768884.8 | 申请日: | 2019-08-20 |
公开(公告)号: | CN110359090A | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 闫灯周;刘俊辉;郭志球 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王云晓 |
地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请提供一种晶体硅的铸锭方法,包括:将籽晶铺设于坩埚底部;其中,籽晶包括硅颗粒料和硅粉;硅颗粒料与硅粉的质量比为1.5~5,包括端点值;硅颗粒料的粒径为100~300μm,包括端点值;硅粉的粒径为10~50μm,包括端点值;在籽晶上方设置熔融状态的硅料,控制坩埚底部温度以便硅料在籽晶基础上长晶;当硅料全部结晶完成后,退火冷却得到晶体硅。可见,应用本申请提供的籽晶在提高了形核点密度的同时,籽晶熔化时,硅颗粒料和硅粉大小相差较大,因此存在一定的间隙,使渗硅现象较容易产生,提高了引晶质量,因此,减小硅锭底部晶粒的尺寸并保证晶粒的大小均匀性。本申请同时还提供了一种铸锭用籽晶和晶体硅,均具有上述有益效果。 | ||
搜索关键词: | 籽晶 晶体硅 硅颗粒 硅粉 铸锭 硅料 晶粒 粒径 坩埚 申请 熔化 退火 大小均匀性 熔融状态 形核点 质量比 硅锭 减小 渗硅 引晶 冷却 铺设 应用 保证 | ||
【主权项】:
1.一种铸锭用籽晶,其特征在于,包括:硅颗粒料和硅粉;所述硅颗粒料与所述硅粉的质量比为1.5~5,包括端点值;所述硅颗粒料的粒径为100~300μm,包括端点值;所述硅粉的粒径为10~50μm,包括端点值。
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