[发明专利]缺陷扫描结果处理方法、装置、系统和存储介质有效
| 申请号： | 201910769377.6 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112417191B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 丁涌芥;杜丽;黄盛境 | 申请（专利权）人： | 华润微电子（重庆）有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/583 | 分类号： | G06F16/583;G06V30/413 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 高彦 |
| 地址： | 401331 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种缺陷扫描结果处理方法、装置、系统和存储介质，通过获取包含一或多片晶圆的缺陷信息的扫描结果文件；将所述扫描结果文件转换为文本文件，并修正所述文本文件中的所述缺陷信息。本申请能够自动实时处理，解决人工出错率问题和纸本记录的时效性及保存限制问题，同时解决纸本记录查询速度慢，过程繁琐问题，另外，能够完整记录及还原晶圆缺陷分布及缺陷大小，帮助分析特定分布或方向性缺陷问题。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 扫描 结果 处理 方法 装置 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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