[发明专利]一种多晶硅铸锭用坩埚的制备方法有效
| 申请号： | 201910771489.5 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110451941A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 武建军 | 申请（专利权）人： | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/14 | 分类号： | C04B35/14;C04B35/622;C04B41/85;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11435 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 申绍中<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 037002*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭用坩埚的制备方法，包括以下步骤：S1：按重量份准备原料：去离子水20‑26份、氮化硅16‑22份、六方氮化硼11‑17份、硅溶胶22‑28份、含硅元素的包膜剂10‑17份、石英10‑15份、硅22‑26份、氢氧化钡11‑17份、粘结剂16‑22份；S2：先对硅原料进行100%的质检，质检完成后，将按比例选取的去离子水和硅原料一起加入到球磨机内，制得浆体，球磨结束后对浆料进行取样检测，检测浆体的细度、密度、粘度和流动性，将球磨后的浆料加入到均化箱中，利用搅拌轴以50‑80rpm的搅拌速度搅拌6‑12min进行蒸发。本发明能够制成强度高的多晶硅坩埚，制作步骤少，制造成本低，适用性更强。 | ||
| 搜索关键词： | 去离子水 硅原料 浆料 浆体 球磨 质检 坩埚 球磨机 多晶硅铸锭 六方氮化硼 氢氧化钡 取样检测 速度搅拌 制造成本 包膜剂 氮化硅 多晶硅 硅溶胶 硅元素 搅拌轴 均化箱 粘结剂 重量份 石英 细度 制备 蒸发 检测 制作 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅铸锭用坩埚的制备方法，包括以下步骤：/nS1：按重量份准备原料：去离子水20-26份、氮化硅16-22份、六方氮化硼11-17份、硅溶胶22-28份、含硅元素的包膜剂10-17份、石英10-15份、硅22-26份、氢氧化钡11-17份、粘结剂16-22份；/nS2：先对硅原料进行100%的质检，质检完成后，将按比例选取的去离子水和硅原料一起加入到球磨机内，制得浆体；/nS3：球磨结束后对浆料进行取样检测；/nS4：将检测合格的浆体加入至均化箱中进行水分的蒸发，取得浆料；/nS5：将S4中得到浆料和石英加入至混料箱中进行搅拌操作，取得混料；/nS6：将S5得到的混料转移到浇注罐内进行抽真空处理；/nS7：将处理过后的混料加入至石膏磨具中进行吸水排水操作，混料脱水排水后对混料进行脱模和干燥；/nS8：将干燥过后的产品拆掉模芯和边摸转移到双通道固化炉中进行烧结，将烧结过后的产品转移到车床处进行打磨；/nS9：制作包膜剂。/n
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