[发明专利]一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备在审
| 申请号： | 201910771741.2 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110331376A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 官国鹏 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市三榕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备。带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，包括镀膜室、放卷室、收卷室和基材,放卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，收卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，从放卷室出来的基材依次经过放卷室和镀膜室之间的隔膜阀、镀膜室、镀膜室和收卷室之间的隔膜阀、收卷室。本发明通过设置隔膜阀，将收、放卷室与镀膜室隔离，使得镀膜室能长期处于真空状态，提高生产效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜室 隔膜阀 放卷室 真空镀膜设备 收卷室 卷绕 相接处 基材 生产效率 真空状态 隔离 | ||
【主权项】：
1.一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，包括镀膜室、放卷室、收卷室和基材,其特征在于：放卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，收卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，从放卷室出来的基材依次经过放卷室和镀膜室之间的隔膜阀、镀膜室、镀膜室和收卷室之间的隔膜阀、收卷室。
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