[发明专利]一种MEMS微镜及MEMS光开关

摘要

本发明涉及一种MEMS微镜及MEMS光开关，该MEMS微镜包括：驱动镜面结构，驱动镜面结构位于衬底上，包括两个L型结构，两个L型结构的首尾相对排布，每个L型结构包括第二扭转梁、L型横板和第二梳齿状结构，L型横板的首端下方衬底上设置有第一驱动电极，且该首端通过第二扭转梁支撑旋转，L型横板的尾端上有第二梳齿状结构；微镜镜面层位于驱动镜面结构的上方，第一扭转梁通过衬底固定且用于支撑微镜镜面层的两侧，微镜镜面层上与第二梳齿状结构相对应的两侧分别有第一梳齿状结构，使得对第一驱动电极施加较小的驱动电压时，第一、第二梳齿状结构的正对面积有较大的改变，产生的静电吸引力作用与第一梳齿状结构，使得微镜镜面层转动。

主权项

1.一种MEMS微镜，其特征在于，包括：衬底、两个第一驱动电极、驱动镜面结构、微镜镜面层和第一扭转梁；所述驱动镜面结构位于所述衬底上，所述驱动镜面结构包括两个L型结构，所述两个L型结构的首尾相对排布，每个L型结构包括第二扭转梁、L型横板和第二梳齿状结构，所述第二扭转梁设置固定在所述衬底上，所述L型横板的首端所在位置处的所述衬底上设置有第一驱动电极，且，所述L型横板的首端通过所述第二扭转梁支撑旋转，所述L型横板的尾端上连接有所述第二梳齿状结构；所述微镜镜面层位于所述驱动镜面结构的上方，所述第一扭转梁固定在所述衬底上，所述微镜镜面层的两侧通过所述第一扭转梁支撑，所述微镜镜面层上与所述第二梳齿状结构相对应的两侧分别形成有第一梳齿状结构；在通过所述第一驱动电极施加驱动电压时，所述第一驱动电极对所述L型横板的首端产生驱动向下的力，从而使得所述第二扭转梁产生扭矩，所述第二梳齿状结构随所述第二扭转梁转动时插入所述第一梳齿状结构，且所述第二梳齿状结构与所述第一梳齿状结构之间的正对面积发生改变，产生对所述第一梳齿状结构向下的静电吸引力，从而驱动所述微镜镜面层转动。