[发明专利]测量装置和测量方法在审

专利信息
申请号: 201910772277.9 申请日: 2019-08-21
公开(公告)号: CN110857988A 公开(公告)日: 2020-03-03
发明(设计)人: 小松崎晋路 申请(专利权)人: 株式会社三丰
主分类号: G01S17/08 分类号: G01S17/08;G01S7/481;G01B11/24
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 邸万奎
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种测量装置100,包括:激光装置110,其具有激光谐振器并输出具有多个模式的调频激光束;分支部件120,其将调频激光束分支成参考光和测量光;差拍信号生成部件150,其通过混合将测量光照射到待测量物体10而反射的反射光来生成差拍信号;和检测部件160,其对通过以第一频率采样差拍信号而生成的第一采样数据和通过以第二频率采样差拍信号而生成的第二采样数据进行频率分析,其中第一频率是等于激光谐振器的谐振频率的频率或者是等于或大于谐振频率的两倍的频率,第二频率是通过将激光谐振器的谐振频率除以正整数而获得,并提供了一种测量方法。
搜索关键词: 测量 装置 测量方法
【主权项】:
暂无信息
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