[发明专利]上提拉真空炉在审
| 申请号： | 201910772691.X | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110344108A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 王宇;官伟明;梁振兴 | 申请（专利权）人： | 眉山博雅新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/28;C30B15/30 |
| 代理公司： | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人： | 袁春晓 |
| 地址： | 620010 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请公开了上提拉真空炉。所述晶体生长装置包括炉膛、提拉杆、运动装置和控制系统；所述炉膛内设置温场和热源；所述提拉杆的至少一部分位于所述炉膛内，且所述运动装置与所述提拉杆具有传动连接，以带动所述提拉杆上下运动和/或旋转；所述控制系统用于控制所述运动装置的运动方向和/或运动速度。本申请的晶体生长装置可以实现晶体生长过程自动化控制，所制备的单晶材料结构一致性好，并且改进了焊接工艺，提高了炉膛的密封性和抗腐蚀性。 | ||
| 搜索关键词： | 炉膛 提拉杆 运动装置 晶体生长装置 控制系统 真空炉 提拉 焊接工艺 晶体生长过程 结构一致性 自动化控制 传动连接 单晶材料 上下运动 密封性 热源 温场 制备 申请 改进 | ||
【主权项】：
1.一种晶体生长装置，其特征在于，包括炉膛、提拉杆、运动装置和控制系统；所述炉膛内设置温场和热源；所述提拉杆的至少一部分位于所述炉膛内，且所述运动装置与所述提拉杆具有传动连接，以带动所述提拉杆上下运动和/或旋转；所述控制系统用于控制所述运动装置的运动方向和/或运动速度。
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