[发明专利]用于激光诱导向前转移且高产量的重复方法、以及供体材料回收在审
| 申请号： | 201910773013.5 | 申请日： | 2016-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN110670016A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | T.桑德斯特伦;G.马滕森;M.罗斯林 | 申请（专利权）人： | 迈康尼股份公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/28;C23C14/56;B33Y30/00;B33Y10/00 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邢岳 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于激光诱导向前转移且高产量的重复方法、以及供体材料回收。本发明所公开的技术涉及供体材料在使用激光诱导向前转移的写入过程中的高的利用。具体地，所述技术涉及：在使用靶基材实施写入过程后，通过以供体材料再涂覆所述靶基材来重新使用或回收未用过的供体材料。此外，所述技术涉及这样的靶基材，其包括待使用LIFT从靶基材单独排出的分离离散点的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 供体材料 靶基 激光诱导 写入过程 回收 离散点 排出 涂覆 图案 重复 | ||
【主权项】：
1.通过经由激光诱导向前转移的供体材料转移在工件上以图案的方式沉积材料的方法，包括：/n提供第一和第二靶基材板，所述第一和第二靶基材板包括透过激光的支撑体以及包含供体材料的初始涂层；/n在曝光站点处，使激光束脉冲式通过所述第一靶基材板，导致供体材料的一部分从所述第一靶基材板转移，以在所述工件上形成所述图案的一部分；/n在使所述激光束脉冲式通过所述第一靶基材板的同时，在再涂覆站点处，以供体材料再涂覆所述第二靶基材板，其中，在再涂覆之前，所述第二靶基材板包括预先自其转移供体材料的部分；/n使所述经再涂覆的第二靶基材板从所述再涂覆站点移动到所述曝光站点；以及/n在所述曝光站点处，使所述激光束脉冲式通过所述第二靶基材板，导致供体材料的一部分从所述第二靶基材板转移，以在所述工件或第二工件上形成所述图案的一部分。/n
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