[发明专利]检查装置及检查方法在审
| 申请号： | 201910773723.8 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN111609799A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 大田洋 | 申请（专利权）人： | 东芝存储器株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01C11/04;G01F23/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 杨林勳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种检查装置及检查方法。根据一实施方式，本实施方式的检查装置具备可搭载表面具有突出部的衬底的载台。环构件在载台上挤压衬底的外周。液体供给部向衬底的表面上供给液体直到距该表面为第1高度为止。拍摄部从衬底的表面的上方拍摄液体的表面及突出部。运算部使用拍摄部的图像，判断从液体的表面露出的突出部的露出部分的大小，并基于该露出部分的大小来判断突出部的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东芝存储器株式会社，未经东芝存储器株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910773723.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
