[发明专利]抗等离子体腐蚀陶瓷及制备方法在审
| 申请号： | 201910773739.9 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110386817A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 杨佐东 | 申请（专利权）人： | 重庆臻宝实业有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/48 | 分类号： | C04B35/48;C04B35/622 |
| 代理公司： | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216 | 代理人： | 龙玉洪 |
| 地址： | 401326 重庆市九*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗等离子体腐蚀陶瓷及制备方法，该陶瓷的化学式为(1‑x‑y)ZrO2·xCeO2·yNb2O5，其中x＝0.05‑0.1，y＝0.01‑0.05，采用本发明制备的陶瓷的抗等离子体腐蚀性能和钇铝石榴石相当，抗弯强度优于钇铝石榴石陶瓷，而成本远低于钇铝石榴石，可以用作刻蚀机腔体内部件的制造材料。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 等离子体腐蚀 钇铝石榴石 制备 体内部件 制造材料 刻蚀机 抗弯 | ||
【主权项】：
1.一种抗等离子体腐蚀陶瓷，其特征在于：该陶瓷的化学式为(1‑x‑y)ZrO2·xCeO2·yNb2O5，其中x＝0.05‑0.1，y＝0.01‑0.05。
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