[发明专利]一种改进预处理的靶材绑定方法

摘要

本发明公开了一种改进预处理的靶材绑定方法，包括a、预处理前步骤、b、背管预处理步骤、c、金属靶管预处理步骤、d、绑定步骤，通过本发明的一种改进预处理的靶材绑定方法，有效提高旋转靶绑定前预处理效果，提高旋转靶绑定质量。

主权项

1.一种改进预处理的靶材绑定方法，其特征在于：包括以下步骤：a、预处理前步骤，对金属靶管的绑定面和背管的绑定面分别进行喷砂、清洗和烘干处理；b、背管预处理步骤，将清洗烘干后的背管的绑定面进行超声涂覆绑定金属焊料从而形成一背管金属化层，包括以下子步骤，b1、将背管安装于一能使其匀速自转的旋转装置，b2、将背管加热至第一温度后并保温，该设定温度高于绑定金属焊料的熔点温度且低于金属靶管和背管的熔点温度，b3、启动旋转装置使背管匀速旋转，背管自转速度控制在3‑6转/分钟，b4、启动超声涂覆装置，在超声涂覆装置的储液箱中添加熔融状的绑定金属焊料，储液箱按照设定的液体供给速度将绑定金属焊料供给于超声刷头，超声刷头按照100mm/分钟的速度在背管的绑定面匀速移动，直至绑定金属焊料完全覆盖背管的绑定面，形成一厚度为0.05‑0.1mm的背管金属化层，撤销对背管的加热，完成背管预处理；c、金属靶管预处理步骤，对清洗烘干后的金属靶管使电刷镀液在金属靶管的绑定面进行电刷镀从而形成一增强金属层，在增强金属层的基础上进行使用绑定金属焊料从而形成一靶材金属化层，包括以下子步骤，c1、将金属靶管安装于一能使其匀速自转的旋转装置，c2、将电刷镀装置的电压设置在10‑15V，电流设置在30‑50A，将电刷镀装置中的负极电连接于金属靶管形成阴极连接部，阴极连接部环绕金属靶管的管壁设置，c3、启动旋转装置使金属靶管匀速旋转，金属靶管的自转速度控制在0.8‑1.2转/分钟，c4、电刷镀装置中设置有一供液部，供液部中储存有电刷镀液，供液部连接至刷镀头，供液部按照设定的供液速度向刷镀头提供电刷镀液，启动电刷镀装置，金属靶管为阴极，刷镀头为阳极，电刷镀装置中的刷镀头每次移动长度为1‑1.5m为一单位长度，每分钟移动3‑6次单位长度，电刷镀液中的金属离子在金属靶管的绑定面上放电结晶，形成一厚度为0.03‑0.08mm的增强金属层，直至增强金属层完全覆盖金属靶管的绑定面，完成增强金属层的电刷镀，c5、对金属靶管内的电刷镀液进行回收，对金属靶管的增强金属层使用清水进行清洗，c6、将金属靶管加热至第二温度并保温，该设定温度高于绑定金属焊料的熔点温度且低于金属靶管和背管的熔点温度，c7、启动旋转装置使金属靶管匀速旋转，金属靶管自转速度控制在3‑6转/分钟，c8、通过超声涂覆装置，将绑定金属焊料在增强金属层的基础上超声刷头按照10‑20mm/分钟的速度在金属靶管的绑定面匀速移动，直至绑定金属焊料完全覆盖金属靶管的绑定面，形成一厚度为0.08‑0.1mm的靶材金属化层，撤销对金属靶管的加热，完成金属靶管的预处理；d、绑定步骤，在金属靶管的绑定面与背管的绑定面之间设置有设定距离的绑定间隙，在绑定间隙内倒入绑定金属焊料，绑定金属焊料固化形成绑定层。