[发明专利]一种基于VCSEL耦合阵列的光学相位差的液体检测芯片有效
| 申请号： | 201910774171.2 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110433878B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 徐晨;赵壮壮;解意洋;潘冠中;胡良臣;庞伟;杨满坡 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N21/41;H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张立改 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于VCSEL耦合阵列的光学相位差的液体检测芯片系统，属于半导体激光器技术、生化检测技术的交叉技术领域。本发明通过采用质子注入或腔诱导反波导或光子晶体等技术，实现VCSEL耦合阵列的制备。通过PECVD、光刻、溅射、反应离子刻蚀、湿法腐蚀和键合等工艺在VCSEL耦合阵列表面集成微流控结构。在VCSEL耦合阵列上表面利用微流控技术，将待测液体通入VCSEL耦合阵列单元上方，引起VCSEL单元间光束耦合相位差改变，使得激光光束发生偏转，通过对激光光束偏转角度测量，可以计算出液体的折射率，实现液体折射率检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 vcsel 耦合 阵列 光学 相位差 液体 检测 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种基于VCSEL耦合阵列的光学相位差的液体检测芯片系统，其特征在于：S1.通过质子注入限制、或光子晶体或腔诱导反波导技术，使VCSEL阵列各个发光单元的光场在器件内部耦合，单元间有固定的相位关系，从而制备出能够获得高光束质量相干光输出的VCSEL耦合阵列；S2.通过微流控技术在VCSEL耦合阵列表面出光区集成微流通道，使待测液体注入上述特定的VCSEL阵列单元上方微流通道，使VCSEL阵列单元元产生相位差，使出射光束偏转，通过测量光束偏转角，计算出液体折射率。
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