[发明专利]一种长管旋转靶绑定方法

摘要

本发明公开了一种长管旋转靶绑定方法，包括a、预处理前步骤、b、靶材整管与背管预处理步骤、c、组装步骤、d、绑定步骤和e、冷却步骤。本发明的一种长管旋转靶绑定方法，可以一次整管绑定旋转靶，靶材绑定焊合率高，产品质量好。

主权项

1.一种长管旋转靶绑定方法，其特征在于：包括以下步骤，a、预处理前步骤，对靶材整管的内侧壁和背管的外侧壁分别进行喷砂、清洗和烘干处理；b、靶材整管与背管预处理步骤，对清洗烘干后的背管外侧壁进行超声涂覆绑定金属焊料形成一背管金属化层，对清洗烘干后靶材整管的内侧壁进行电刷镀一层增强金属层，在增强金属层的基础上进行超声涂覆绑定金属焊料形成一靶材金属化层；c、组装步骤，将背管插入至靶材整管内，在背管与靶材整管之间放入定位珠形成一预绑定靶材，定位珠以限定背管与靶材整管之间的绑定层(15)厚度，将水冷环套入预绑定靶材，把套入水冷环的预绑定靶材安装固定于吊装夹具，预绑定靶材通过吊装夹具中的定位环(34)限定背管端面与靶材整管端面之间的距离，在定位环(34)的顶面设置有密封圈(18)，预绑定靶材通过吊装夹具转移安装于绑定设备，将预绑定靶材通过吊装夹具的底座(30)竖直固定于绑定设备，水冷环活动放置于预绑定靶材的下端；d、绑定步骤，启动绑定设备的内加热装置(71)和外加热装置(72)分别对预绑定靶材加热至150‑300℃，在预绑定靶材的上端的绑定层(15)间隙处安装浇注口，启动绑定设备的震动装置使预绑定靶材整体发生震动，通过浇注口向绑定层(15)分2‑3次浇注温度为150‑300℃的熔融状态的绑定金属焊料，以实现在注入绑定金属焊料时通过震动装置使绑定金属焊料从上往下掉落，绑定金属焊料的掉落将绑定层(15)从下往上填满，同时使绑定层(15)下端的轻渣和气泡通过震动不断向上移动，轻渣和气泡直至移动至绑定金属焊料的顶面停止，浇注完成；e、冷却步骤，停止内加热装置(71)对预绑定靶材的加热，外加热装置(72)和震动装置保持启动状态，预绑定靶材通过外加热装置(72)的多个独立移动的外加热部分别包围于靶材整管(12)的外侧壁，启动水冷环装置，对预绑定靶材冷却的水从水冷环内侧的孔喷向靶材整管(12)的外侧壁，水冷环以50‑75mm/分钟的速度匀速上升，水冷环的位置上升至下一外加热部的下端时，最近的外加热部打开，其余保持包围状态，以实现绑定层(15)内的绑定金属焊料从下端开始冷却凝固，而上部绑定层(15)内的绑定金属焊料维持熔融状态，在震动装置的震动下，绑定层(15)内的轻渣和气泡不断通过熔融状态的绑定金属焊料向上移动，直至水冷环移动至预绑定靶材的最上端，外加热部全部打开，预绑定靶材完成冷却，完成旋转靶(10)的绑定。