[发明专利]一种LED用单晶硅片清洗设备有效
| 申请号： | 201910777263.6 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN110676193B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 马光辉;尤业明 | 申请（专利权）人： | 安徽一路明光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B08B3/04;B08B3/08 |
| 代理公司： | 六安众信知识产权代理事务所(普通合伙) 34123 | 代理人： | 鲁晓瑞 |
| 地址： | 237200 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种LED用单晶硅片清洗设备，包括带支脚的工作台，所述工作台的顶部靠近其一端处设有高温烘烧箱，工作台的顶部位于其另一端处设有由驱动组件驱动的旋转清洗筒，工作台的顶部位于高温烘烧箱和旋转清洗筒之间设有冷却区，所述冷却区的上方设有位于工作台的一侧的其置于地面上的喷水组件，所述旋转清洗筒的上方设有位于工作台的一侧的其置于地面上的盛装筒起吊组件；本发明由于在清洗前将单晶硅片先置于高温烘烧箱内加热，使单晶硅片表面的贴覆的贴纸或者有机物燃烧掉，烘烧后采用冷却水进行冷却的同时又进行了初次清洗，经酸洗和两次水洗后达到将单晶硅片清洗干净的目的，且清洗效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 单晶硅 清洗 设备 | ||
【主权项】：
1.一种LED用单晶硅片清洗设备，包括带支脚的工作台，其特征在于：所述工作台的顶部靠近其一端处设有高温烘烧箱，工作台的顶部位于其另一端处设有由驱动组件驱动的旋转清洗筒，工作台的顶部位于高温烘烧箱和旋转清洗筒之间设有冷却区，所述冷却区的上方设有位于工作台的一侧的其置于地面上的喷水组件，所述旋转清洗筒的上方设有位于工作台的一侧的其置于地面上的盛装筒起吊组件。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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