[发明专利]真空系统排气消音方法、消音装置及真空系统

摘要

本发明涉及一种真空系统排气消音方法、消音装置及真空系统,所述消音装置包括：第一挡板阀，安装在真空管道上，第一挡板阀的内径与真空管道的内径相同；旁通管道，旁通管道的一端与第一挡板阀一侧的真空管道连通，另一端与第一档板阀另一侧的真空管道连通，旁通管道的内径为真空管道内径0.1‑0.2倍；第二挡板阀，安装在旁通管道上，第二挡板阀的内径与旁通管道的内径相同；以及串联连接的抽真空阀门继电器和断电延时型时间继电器，抽真空阀门继电器与PLC连接，时间继电器的常闭触点与第一挡板阀的控制线连接，时间继电器的常开触点与第二挡板阀的控制线连接。本发明通过切换抽气管道口径降低空气振动，能够有效减小抽真空瞬间产生的尖锐噪音。

主权项

1.一种真空系统排气消音方法，其特征在于，包括以下步骤：在真空管道上安装内径与真空管道内径相同的第一挡板阀；在第一挡板阀两侧的真空管道上开设内径为真空管道内径0.1‑0.2倍的旁通管道口，并用内径与旁通管道口内径相同的旁通管道连通两个旁通管道口；在旁通管道上安装与旁通管道内径相同的第二挡板阀；将抽真空阀门继电器与断电延时型时间继电器串联，将抽真空阀门继电器与PLC连接，将时间继电器的常闭触点与第一挡板阀的控制线连接，将时间继电器的常开触点与第二挡板阀的控制线连接；PLC控制抽真空阀门继电器得电或失电，在抽真空阀门继电器得电情况下，当时间继电器在设置时间内，第一挡板阀处于关闭状态，第二挡板阀打开，开始小抽气；若时间继电器超出设定时间，第二挡板阀关闭，第一挡板阀打开，开始大抽气；在抽真空阀门继电器失电的情况下，停止抽气。