[发明专利]X射线吸收测量系统有效
| 申请号： | 201910779963.9 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN110530907B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 西尔维娅·贾·云·路易斯;云文兵;雅诺什·科瑞;艾伦·弗朗西斯·里昂 | 申请（专利权）人： | 斯格瑞公司 |
| 主分类号： | G01N23/085 | 分类号： | G01N23/085;G21K1/06;H01J35/08 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 桑敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供一种用X射线吸收测量系统。一种x射线照明系统，包括：x射线源，包括至少一个电子束发射器和至少一个靶，其中靶包括基板以及与基板热接触的多个离散微结构，多个离散微结构包括至少一个第一离散微结构和至少一个第二离散微结构；光具组，被配置为接收来自至少一个靶的沿着一定发散角内的预定轴传播的x射线并且产生x射线束；X射线单色器，被配置为可控地从X射线束选择X射线，选择的X射线具有选定能量和宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 吸收 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种x射线照明系统，包括：/nx射线源，所述射线源包括至少一个电子束发射器和至少一个靶，所述靶包括：/n基板，所述基板包括第一材料；以及/n多个离散微结构，所述多个离散微结构与所述基板热接触，所述多个离散微结构包括：/n至少一个第一离散微结构，包括第二材料，所述第二材料被配置为在受来自所述至少一个电子束发射器的电子轰击时产生X射线，所述至少一个第一离散微结构具有小于20微米的至少一个尺寸；/n至少一个第二离散微结构，包括第三材料，所述第三材料被配置为在受来自所述至少一个电子束发射器的电子轰击时产生X射线，所述至少一个第二离散微结构具有小于20微米的至少一个尺寸；光具组，所述光具组被配置为接收来自所述至少一个靶的沿着一定发散角内的预定轴传播的x射线并且产生x射线束；/nX射线单色器，所述X射线单色器被配置为可控地从所述X射线束选择X射线，所选择的X射线具有选定能量和宽度。/n
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