[发明专利]退火腔进气装置在审
| 申请号： | 201910784371.6 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN112410518A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 代迎伟;杨宏超;金一诺;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 |
| 主分类号： | C21D1/26 | 分类号： | C21D1/26;C21D1/74;C21D9/00;C22F1/08;C22F1/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种退火腔进气装置，包括供气管路、多条供气支路、多个散气腔以及进气筒，每个散气腔由一条供气支路与供气管路连通，所述进气筒的一端与供气支路的出气口相连并位于所述散气腔内，所述进气筒的侧壁上开有多个散气孔。本发明通过每个散热腔内增加一个用于缓冲均布工艺气流的进气筒，解决了现有装置内工艺气体一下子涌入散气腔内，无法在散气腔内均匀分布后均匀进入退火腔的问题，保证了退火腔内工艺气体的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 退火 腔进气 装置 | ||
【主权项】：
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