[发明专利]退火腔进气装置

摘要

本发明提供了一种退火腔进气装置，包括供气管路、多条供气支路、多个散气腔和多个气流控制楔子，每个散气腔通过一条供气支路与供气管路相连通，每个供气支路与供气管路之间安装有一个气流控制楔子；气流控制楔子包括固定端和导气管，导气管的一端与固定端相连，另一端开有出气口，固定端与供气管路可拆卸固定，导气管穿入供气管路后伸入供气支路中，导气管上还开设有贯穿的导气孔，所述导气孔与供气管路相通。本发明使用一个混气模块供应多个退火腔体的工艺气体，减少了成本以及设备体积，通过在退火腔进气装置上增加气流控制楔子，在工艺过程中通过更换不同内管径的气流控制楔子，达到多个腔体的气流均匀稳定，实现了工艺稳定、降低成本的目的。