[发明专利]一种用于大尺寸光学窗口零件面形和平行差开放式检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种用于大尺寸光学窗口零件面形和平行差开放式检测装置及检测方法，检测装置包括上平台，下平台，支架，升降螺杆，导轨，滑块，锁紧块，限位块，俯仰和旋转调整机构和载物台。通过升降螺杆调平上平台和下平台，形成大尺寸窗口零件开放式测试区域。该装置将干涉仪安装于上平台上，利用俯仰调整机构，使零件的表面像和干涉仪的标准像产生干涉，得到该区域的干涉条纹，获得该区域的干涉图样，再通过旋转和平移零件，实现大尺寸窗口零件全范围内的局部面形测试；利用零件两面产生的干涉条纹，获得干涉图样，根据等厚干涉平行差计算公式，得到该区域的平行差，再通过旋转和平移零件，实现大尺寸窗口零件全范围内的局部平行差测试。

主权项

1.一种用于大尺寸光学窗口零件面形和平行差开放式检测装置，其特征在于：包括上平台，下平台，支架，升降螺杆，导轨，滑块，锁紧块，限位块，俯仰和旋转调整机构和载物台；/n所述上平台中心设有中心通孔，中心通孔周围设有圆周均布的安装孔用来安装干涉仪，下表面四个角设有安装升降螺杆的螺孔；所述下平台基体为气浮式隔震平台，下平台设有用于安装支架和导轨的螺孔；所述支架底部通过螺钉连接在下平台上，支架顶部安装升降螺杆，升降螺杆的另一端通过螺钉安装在上平台上，通过升降螺杆调平上平台和下平台，形成大尺寸窗口零件开放式测试区域；/n两根平行导轨通过螺钉安装在下平台上，上平台中心通孔在下平台的投影落在两根平行导轨之间；所述限位块安装在导轨两端；所述俯仰和旋转调整机构为可实现零件旋转和俯仰的机械传动结构；所述载物台安装在所述俯仰和旋转调整机构上；所述滑块和锁紧块的上部通过螺钉与俯仰和旋转调整机构连接，滑块和锁紧块的下部安装在导轨上，实现俯仰和旋转调整机构的平移和锁紧。/n