[发明专利]一种在应力为零的中性面上制备超柔性光探测器的方法

摘要

本发明公开了一种在应力为零的中性面上制备超柔性光探测器的方法。材料弯曲时内部的中性力学平面上没有应变，采用该理论设计、测量制备的封装半导体薄膜光探测器在应变高达10%的情况下稳定工作，比外表面所能承受的应变大两个数量级。实际上，封装后的光探测器在弯曲过程中，只要衬底能够弯曲到目标弯曲曲率，器件都应该能稳定工作。同时，在弯曲1000小时或者弯曲10000次，都能表现出极稳定的光响应特性。这种结构的设计研究，有效解决了脆性光敏材料在柔性器件弯曲过程中断裂破损，导致器件无法工作的问题，将极大的推动柔性光探测器的应用。本发明提供的在应力为零的中性面上制备超柔性光探测器的方法工艺简单，成本低廉。

主权项

1.一种在应力为零的中性面上制备超柔性光探测器的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n（1）准备柔性衬底PET：裁剪PET，用丙酮、乙醇和去离子水各超声清洗5分钟后吹干，放置在加热台上烘烤使PET表面平整，将烘烤平整的PET放到等离子清洗机中高档清洗15分钟后取出；/n（2）II - VI族半导体材料的蒸镀：将清洗后的PET用高温胶带贴好固定在电子束蒸发镀膜机腔体的蒸发基板上，利用电子束蒸发镀膜法，在60-100摄氏度下在PET上蒸镀II -VI族半导体材料，PET上制备出II - VI族半导体薄膜；/n（3）II - VI族半导体薄膜光探测器的构筑：将蒸镀有II - VI族半导体薄膜的PET固定在电极掩膜板上，确定蒸镀电极的区域后，利用高温胶带将电极掩膜板粘贴固定在电子束蒸发镀膜机腔体的蒸发基板上，调节镀电极参数，蒸镀10 nm Cr/100 nm Au作为电极，构筑出II - VI族半导体薄膜光探测器件；/n（4）器件上层粘贴PET：裁剪与步骤（1）中PET厚度相同的PET，利用匀胶机在PET表面旋涂上一层透明的UV 胶水，PET覆盖胶水的一面粘贴在步骤（3）中构筑好的光探测器件上表面，用365 nm的紫外灯照射PET三分钟，等待24小时使胶水风干固化。/n