[发明专利]低温微纳米压痕测试系统的非真空氛围式制冷系统有效
| 申请号： | 201910789670.9 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110470555B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 赵宏伟;王赵鑫;刘鹏;张建海;王顺博;周水龙;李聪;张萌;王吉如;赵运来;赵久成;常枭;王文阳;候伟光 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N3/54 | 分类号： | G01N3/54;F25D3/10 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 王怡敏 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低温微纳米压痕测试系统的非真空氛围式制冷系统，属于制冷技术领域。包括制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元、低温氛围制冷腔室单元、压入深度在线溯源单元和微纳米压痕加载与检测单元。本发明以低温氛围制冷腔室单元为基础，结合制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元，实现非真空氛围制冷环境的构建，通过这种方式对样品与压头同时制冷，以削弱“温漂”对压痕测试精度的影响。同时能够兼容压入深度在线溯源单元，用于实现低温环境下压入深度的精密测量以及微纳米压痕加载与检测单元压入深度传感器的在线溯源校准等功能扩展，为开发研制低温微纳米压痕测试系统提供稳态的低温加载环境。 | ||
| 搜索关键词： | 低温 纳米 压痕 测试 系统 真空 氛围 制冷系统 | ||
【主权项】：
1.一种低温微纳米压痕测试系统的非真空氛围式制冷系统，其特征在于：包括制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元、低温氛围制冷腔室单元、压入深度在线溯源单元和微纳米压痕加载与检测单元（1）；其中，微纳米压痕加载与检测单元（1）与低温氛围制冷腔室单元整体置于真空/氛围腔室单元内，通过惰性气体置换排尽整个空间内的水蒸气，保证真空/氛围腔室内处于惰性气体氛围；制冷蒸汽发生单元的制冷气体连续控温喷口（38）经由真空/氛围腔室单元腔壁的制冷气体输入接口（33）利用金属软管（37）向低温氛围制冷腔室单元内泵入制冷气体实现制冷；低温氛围制冷腔室单元内的测温元件、压电驱动平台和激光探头线缆经由电气/光纤接口（31）通过连接线缆（29）与控制器及工控机（30）相连。/n
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