[发明专利]一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置及其使用方法在审
申请号: | 201910790150.X | 申请日: | 2019-08-26 |
公开(公告)号: | CN110438564A | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 马怡军 | 申请(专利权)人: | 大同新成新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/04 | 分类号: | C30B28/04;C30B29/06 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 申绍中 |
地址: | 037002 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明公开了一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置,包括炉体,所述炉体内的一周侧壁上等间距固定有八个固定块,同一水平面上的四个固定块为一组,两组固定块的相对一侧均设有第一插槽,同一水平面上的第一插槽为一组,所述炉体内设有第二筒体和两个第一筒体,所述第二筒体的上下两端均等间距设有四个第二插槽;本发明还提出了一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置的使用方法。本发明解决了不方便对隔热装置进行拆解的问题,同时也解决隔热装置发生变形或损坏时不方便进行维修和更换的问题,降低了作人员的劳动强度,提高了工作效率,有效的规避了对整个装置进行更换所造成成本增加的情况发生,提高了稳定性,同时还增强了保温隔热效果。 | ||
搜索关键词: | 隔热装置 分体式 固定块 插槽 多品 热场 筒体 坩埚 同一水平 体内 保温隔热效果 维修和更换 工作效率 间距固定 上下两端 周侧壁 拆解 两组 炉体 变形 | ||
【主权项】:
1.一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)内的一周侧壁上等间距固定有八个固定块(6),同一水平面上的四个固定块(6)为一组,两组固定块(6)的相对一侧均设有第一插槽,同一水平面上的第一插槽为一组,所述炉体(1)内设有第二筒体(10)和两个第一筒体(4),所述第二筒体(10)的上下两端均等间距设有四个第二插槽(3),同一水平面上的四个第二插槽(3)为一组,所述第一筒体(4)的上下两端均等间距固定有四个插板(14),同一水平面上的四个插板(14)为一组,其中两组插板(14)的一端分别延伸至两组第二插槽(3)内,另外两组插板(14)的一端分别延伸至两组第一插槽内,所述炉体(1)内的底部设有支撑机构(7),所述支撑机构(7)的上端固定有坩埚本体(8),所述坩埚本体(8)位于第一筒体(4)和第二筒体(10)的中部,位于炉体(1)内上端的四个固定块(6)一侧均固定有支撑块(11),所述支撑块(11)的上端固定有连接块(13),四个连接块(13)之间共同固定有进料斗(12),所述进料斗(12)的下端延伸至坩埚本体(8)内,所述第二筒体(10)和两个第一筒体(4)内的一周侧壁上共同固定有隔热板(5)。
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