[发明专利]一种单品硅热场坩埚用组合式安装防护设备及其使用方法

摘要

本发明公开了一种单品硅热场坩埚用组合式安装防护设备，包括柜体，所述柜体内设有空腔，所述空腔内的底部设有放置槽，所述放置槽内的底部设有橡胶垫，所述空腔的一端侧壁上设有第一开口，所述柜体的一端侧壁上固定有两个限位板，且两个限位板位于第一开口的两侧，两个限位板上均设有第二开口，所述第一开口内贯穿设有第二弧形夹持块；本发明还提出了一种单品硅热场坩埚用组合式安装防护设备的使用方法。本发明对在运输过程中的热场坩埚进行了全面防护，提高了其稳定性，避免在运输过程中因外部压力的挤压或晃动造成热场坩埚损坏的情况发生，延长了热场坩埚的使用寿命，同时方便快速的安装热场坩埚，降低了人工安装成本。

主权项

1.一种单品硅热场坩埚用组合式安装防护设备，包括柜体（1），其特征在于：所述柜体（1）内设有空腔，所述空腔内的底部设有放置槽（13），所述放置槽（13）内的底部设有橡胶垫（12），所述空腔的一端侧壁上设有第一开口（14），所述柜体（1）的一端侧壁上固定有两个限位板（11），且两个限位板（11）位于第一开口（14）的两侧，两个限位板（11）上均设有第二开口（19），所述第一开口（14）内贯穿设有第二弧形夹持块（5），所述第二弧形夹持块（5）的一端固定有安装盒（9），所述安装盒（9）内设有安装腔，所述安装腔内设有调节机构，所述第二弧形夹持块（5）的另一端固定有两个插杆（4），所述空腔内的另一端侧壁上固定有第一弧形夹持块（2），所述橡胶垫（12）的上端放置有坩埚本体（3），所述第一弧形夹持块（2）的一端侧壁上设有两个与两个插杆（4）对应的盲孔，两个插杆（4）的一端分别延伸至两个盲孔内，且第一弧形夹持块（2）和第二弧形夹持块（5）分别抵触在坩埚本体（3）的两侧，所述空腔内的顶部设有夹持机构，所述夹持机构和坩埚本体（3）的上端相互对应。