[发明专利]一种真空气浮轴承及其性能检测装置和检测方法在审
| 申请号： | 201910792151.8 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110513394A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 成荣;朱煜;杨开明;刘相波;王利臣 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;G01M13/04 |
| 代理公司： | 11726 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 左文<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空气浮轴承、及其性能检测装置和检测方法，该气浮轴承包括至少一级抽气通道，采用本发明的多级抽气结构的真空气浮轴承，可以把提供给平面气浮轴承的气体抽排出真空腔体，将平面气浮轴承对真空度的影响减小到可接受的范围。该检测装置包括真空室；分别与真空室连接的多级抽气管路、抽真空管路、进气管路、氮气管路，真空室还连接一真空室真空计，该性能检测装置能够准确的评估该真空气浮轴承是否符合实际真空环境的使用需求，还可判断该真空气浮轴承工作时对真空环境的影响，此外还可以通过测试过程和测试结果指导真空气浮轴承的抽气系统的设计。 | ||
| 搜索关键词： | 轴承 真空室 平面气浮轴承 性能检测装置 多级抽气 真空环境 抽真空管路 测试过程 抽气通道 抽气系统 氮气管路 检测装置 进气管路 气浮轴承 真空腔体 可接受 真空计 抽排 减小 检测 评估 | ||
【主权项】：
1.一种真空气浮轴承，该气浮轴承(101)包括进气口(102)，压缩气体从进气口(102)进入气浮轴承(101)内部，在轴承气浮面(109)与工件滑动面之间形成一定厚度的压力气膜；其特征在于：该气浮轴承(101)还包括至少一级抽气通道(110、111、112)，该至少一级抽气通道(110、111、112)沿轴承气浮面(109)的外部呈周向环绕向外设置。/n
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