[发明专利]一种晶硅铸锭的母合金重量计算方法及铸锭方法在审

专利信息
申请号: 201910792535.X 申请日: 2019-08-26
公开(公告)号: CN110468448A 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 廖继龙;张琪;张华利;胡动力;游达 申请(专利权)人: 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人: 唐清凯<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 221004 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种晶硅铸锭的母合金重量计算方法,包括测量欲投入坩埚内各种硅料的硼元素浓度CiB,坩埚内各种硅料的磷元素浓度Cip,各种硅料的重量mi,及需要掺杂的母合金的硼元素掺杂浓度CXB,然后通过目标电阻率测算出硅锭硼磷补偿净浓度,再根据发明人提出的硅锭硼磷补偿净浓度与母合金的关系式测算需要掺杂的母合金的重量,这样操作人员在掺杂时能够准确地获知需要掺杂的母合金的重量,进而快速完成母合金掺杂,且使铸锭得到的硅锭的目标电阻率一致;或误差极小,在可接受范围之内。另外,还提出一种铸锭方法,其利用前述的计算方法计算母合金重量,然后利用定向凝固法铸造硅锭。
搜索关键词: 母合金 硅锭 掺杂的 硅料 铸锭 目标电阻率 掺杂 硼磷补偿 硼元素 坩埚 测算 定向凝固法 可接受 磷元素 获知 种晶 铸造 测量
【主权项】:
1.一种晶硅铸锭的母合金重量计算方法,其特征在于,包括以下步骤:/n测量欲投入坩埚内各种硅料的硼元素浓度CiB,坩埚内各种硅料的磷元素浓度Cip,各种硅料的重量mi,及需要掺杂的母合金的硼元素掺杂浓度CXB;/n根据以下公式计算需要掺杂的母合金的重量:/n /n其中,ρt:目标电阻率;CiB为坩埚内第i种硅料的硼元素浓度,CiP为第i种硅料的磷元素浓度,mi为第i种硅料的重量。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏协鑫硅材料科技发展有限公司,未经江苏协鑫硅材料科技发展有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910792535.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top