[发明专利]一种晶硅铸锭的母合金重量计算方法及铸锭方法在审
申请号: | 201910792535.X | 申请日: | 2019-08-26 |
公开(公告)号: | CN110468448A | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 廖继龙;张琪;张华利;胡动力;游达 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 唐清凯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种晶硅铸锭的母合金重量计算方法,包括测量欲投入坩埚内各种硅料的硼元素浓度CiB,坩埚内各种硅料的磷元素浓度Cip,各种硅料的重量mi,及需要掺杂的母合金的硼元素掺杂浓度CXB,然后通过目标电阻率测算出硅锭硼磷补偿净浓度,再根据发明人提出的硅锭硼磷补偿净浓度与母合金的关系式测算需要掺杂的母合金的重量,这样操作人员在掺杂时能够准确地获知需要掺杂的母合金的重量,进而快速完成母合金掺杂,且使铸锭得到的硅锭的目标电阻率一致;或误差极小,在可接受范围之内。另外,还提出一种铸锭方法,其利用前述的计算方法计算母合金重量,然后利用定向凝固法铸造硅锭。 | ||
搜索关键词: | 母合金 硅锭 掺杂的 硅料 铸锭 目标电阻率 掺杂 硼磷补偿 硼元素 坩埚 测算 定向凝固法 可接受 磷元素 获知 种晶 铸造 测量 | ||
【主权项】:
1.一种晶硅铸锭的母合金重量计算方法,其特征在于,包括以下步骤:/n测量欲投入坩埚内各种硅料的硼元素浓度CiB,坩埚内各种硅料的磷元素浓度Cip,各种硅料的重量mi,及需要掺杂的母合金的硼元素掺杂浓度CXB;/n根据以下公式计算需要掺杂的母合金的重量:/n /n其中,ρt:目标电阻率;CiB为坩埚内第i种硅料的硼元素浓度,CiP为第i种硅料的磷元素浓度,mi为第i种硅料的重量。/n
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