[发明专利]一种具有应力释放功能的双端固支板式MEMS结构有效

专利信息
申请号: 201910793511.6 申请日: 2019-08-27
公开(公告)号: CN110668391B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 何凯旋;喻磊;郭立建;姜楠;张胜兵;郭群英 申请(专利权)人: 华东光电集成器件研究所
主分类号: B81B7/00 分类号: B81B7/00;B81B7/02;B81B3/00;G01P15/12
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 代理人: 陈俊
地址: 233030 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开一种具有应力释放功能的双端固支板式MEMS结构,包括相互键合的衬底层与可动结构层,衬底层顶部中心设有空腔,衬底层顶部设有环形隔离槽,环形隔离槽位于空腔外周,环形隔离槽与空腔之间形成环形固定锚点;可动结构层包含可动结构外框,可动结构外框内设有双端固支板结构,可动结构外框与双端固支板结构之间形成环形应力释放槽,环形应力释放槽与环形隔离槽相对应;环形固定锚点对双端固支板结构形成支撑;双端固支板结构的四角与可动结构外框的四个内角之间分别对应设有应力释放连接梁;本发明在保证传感器谐振频率不降低的情况下极大地减小了传感器对热应力的敏感度。
搜索关键词: 一种 具有 应力 释放 功能 双端固支 板式 mems 结构
【主权项】:
1.一种具有应力释放功能的双端固支板式MEMS结构,包括相互键合的衬底层与可动结构层,衬底层顶部中心设有空腔,其特征在于,所述衬底层顶部设有环形隔离槽,环形隔离槽位于空腔外周,环形隔离槽与空腔之间形成环形固定锚点;/n所述可动结构层包含可动结构外框,可动结构外框内设有双端固支板结构,可动结构外框与双端固支板结构之间形成环形应力释放槽,环形应力释放槽与环形隔离槽相对应;环形固定锚点对双端固支板结构形成支撑;双端固支板结构的四角与可动结构外框的四个内角之间分别对应设有应力释放连接梁。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华东光电集成器件研究所,未经华东光电集成器件研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910793511.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top