[发明专利]一种柔性纳米纤维氧化锌锡的场效应晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 201910794979.7 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN110534568A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 赵天石;赵春;赵策洲;杨莉;于水长 | 申请（专利权）人： | 西交利物浦大学 |
| 主分类号： | H01L29/775 | 分类号： | H01L29/775;H01L21/335 |
| 代理公司： | 32103 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 范晴;吴音<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性纳米纤维氧化锌锡的场效应晶体管及其制备方法，包括上至下设置的顶部源电极层、顶部漏电极层，纳米纤维结构的载流子沟道层、介电层、底栅电极层和基底；所述纳米纤维结构的载流子沟道层为采用溶胶法制备的直径约100~300 nm的氧化锌锡细丝簇；制备方法包括：a）基底清洗；b）制备底栅电极层；c）制备氧化铪介电层；d）制备纳米纤维结构的载流子沟道层；e）制备顶部源电极层、顶部漏电极层。本案采用溶胶法制备纳米纤维（NF）细丝，操作简单方便，易控制分布与方向，成本低，有较高的均一性，可大规模工业应用；具有环保、高迁移率等优点；可应用于柔性可穿戴电路领域；整个器件呈透明色，具有较好的光学领域应用潜力。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 纳米纤维结构 载流子沟道 底栅电极 漏电极层 氧化锌锡 源电极层 介电层 细丝 场效应晶体管 法制备纳米 电路领域 高迁移率 工业应用 光学领域 基底清洗 纳米纤维 应用潜力 均一性 可穿戴 透明色 氧化铪 基底 纤维 环保 应用 | ||
【主权项】：
1.一种柔性纳米纤维氧化锌锡的场效应晶体管，其特征在于：包括上至下设置的顶部源电极层、顶部漏电极层，纳米纤维结构的载流子沟道层、介电层、底栅电极层和基底；所述纳米纤维结构的载流子沟道层为采用溶胶法制备的直径约100~300 nm的氧化锌锡细丝簇。/n
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