[发明专利]用于加工物体的方法在审
| 申请号： | 201910795524.7 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN110858529A | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | H.斯特曼 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/304;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于加工物体的方法，其中通过执行以下步骤来从物体中去除材料：以如下方式将粒子束引导至物体上，即，使得粒子束在物体上的入射位置沿着主扫描路径进行移动并且沿着横向于主扫描路径定向的子扫描方向进行移动，其中，基于参考信号和检测信号来控制粒子束的入射位置沿着子扫描方向的移动；根据参考信号来调整对粒子束的引导；以及检测二次粒子并产生检测信号，该检测信号表示所检测到的二次粒子的强度。对粒子束的入射位置沿着子扫描方向的移动的控制是使用零差检测原理实现的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 物体 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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