[发明专利]一种高转换效率SE-PERC太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种高转换效率SE‑PERC太阳能电池的制备方法，涉及太阳能电池技术领域，包括以下制备步骤：1）制绒2）；磷扩散；3）激光重掺杂；4）氧化；5）去PSG；6）碱蚀刻抛光：将硅片背面进行碱蚀刻抛光；7）去除硅片正面的硅磷玻璃；8）退火；9）在硅片表面镀双面氧化铝钝化膜；10）正面沉积减反射膜；11）背面沉积钝化膜；12）背面激光开槽；13）丝网印刷；14）烧结；本发明使用的是碱蚀刻技术，相对于酸蚀刻，可以降低刻蚀酸使用量，减少酸废水成本处理，有利于环保，且在激光重掺杂后、去PSG前增加了一到氧化工序，可以保证PN结不会受损伤，也可以对硅片有良好的钝化效果，对转换效率有明显提升。