[发明专利]一种复光束角度传感器及小型非球面形貌检测方法

摘要

本发明公开了一种复光束角度传感器及小型非球面形貌检测方法，该传感器包括半导体激光器、凸透镜、第一滤光板、准直透镜、第二滤光板、分束器、柱透镜、微透镜阵列和CMOS相机。本发明基于复光束角度检测角度差的原理，实现高精度和较大动态范围形貌检测，其光路成像原理可分为两部分：1)照明部分：半导体激光器发出的激光通过第一滤光板，经准直后成为平行光，平行光再通过第二滤光板，经分束器反射、透射后，反射的光线经过柱透镜聚焦成一个光斑，再将光斑聚焦投射到小型非球面体上；2)成像部分：光线从小型非球面上反射后再次透过分束器，使光线聚集在微透镜阵列，聚焦照射到CMOS相机的像平面上，完成CMOS相机的图像采集。

主权项

1.一种复光束角度传感器，其特征在于，包括半导体激光器、用于激光聚焦的凸透镜、第一滤光板、准直透镜、第二滤光板、分束器、柱透镜、微透镜阵列、以及CMOS相机；所述第一滤光板上设有用于滤光的第一滤光孔，所述第二滤光板上设有用于滤光的第二滤光孔；/n所述半导体激光器、凸透镜、第一滤光板、准直透镜、第二滤光板和分束器自上而下依次同轴设置，激光从半导体激光器射出并依次经过凸透镜、第一滤光板、准直透镜、第二滤光板后从分束器的入射端射入，激光在分束器发生反射并从反射端射出；所述柱透镜设置在分束器前方，与分束器的反射端相对并将反射光线聚焦成光斑投射到小型非球面体上；所述微透镜阵列和CMOS相机依次设置在分束器后方，且所述微透镜阵列与分束器的透射端相对并将从小型非球面体反射回来的光线聚焦照射在CMOS相机上。/n