[发明专利]一种基于复光束角度传感器的微型圆度测量仪及测量方法在审
| 申请号： | 201910798722.9 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN110702027A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 陈梅云;朱清晖;黄建平;沈咏新;蒋丽;周郭许;谢胜利 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 44329 广东广信君达律师事务所 | 代理人： | 江金城 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于复光束角度传感器的微型圆度测量仪及测量方法，主要包括复光束角度传感器、夹具、第一承重台、旋转平台、第一XY平台和第二承重台。本发明通过复光束角度传感器发出的激光束扫描并由传感器内部的CMOS相机记录由反射光点阵反映的光束角度变化，以此获得纳米级精度的曲率变化，再利用Fourier变化得到形貌数据，最后用最小二乘法估算圆度。对比其他技术，本方案仅用一个传感器就可以达成仪器误差在测量时不易受其他因素影响的目的。而一个复光束角度传感器的毫米级规格使得它即使在厂级生产中也可以游刃有余。此外，其简易的光路设计可以使所提出的方案在压力、温度和恶劣环境对灵敏度的影响大大降低。 | ||
| 搜索关键词： | 角度传感器 承重台 传感器 测量 夹具 激光束扫描 圆度测量仪 最小二乘法 恶劣环境 光路设计 角度变化 曲率变化 形貌数据 旋转平台 仪器误差 因素影响 点阵 反射光 毫米级 灵敏度 纳米级 再利用 圆度 估算 简易 记录 生产 | ||
【主权项】：
1.一种基于复光束角度传感器的微型圆度测量仪，其特征在于，包括复光束角度传感器、夹具、第一承重台、旋转平台、第一XY平台、以及第二承重台；/n所述第一承重台水平固定设置；所述第一XY平台固定安装在第一承重台上；所述旋转平台设置在第一XY平台上，由第一XY平台驱动并调整其在X和Y方向上的位置；所述夹具固定安装在旋转平台的旋转端上，与旋转平台的旋转中心同轴设置，并由旋转平台驱动其转动；所述夹具夹紧圆柱体工件并在旋转平台的驱动下自转；所述第二承重台固定安装在第一承重台上，位于第一XY平台的一侧；所述复光束角度传感器安装在第二承重台上，其检测端朝向圆柱体工件。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东工业大学，未经广东工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910798722.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
