[发明专利]一种远紫外激光诱发原子氧装置及方法在审
| 申请号： | 201910799269.3 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110487708A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 刘勇;耿洪滨;吕钢;耿晨曦;张翰兴 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00;C01B13/00 |
| 代理公司： | 11473 北京隆源天恒知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 鲍丽伟<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种远紫外激光诱发原子氧装置及方法，所述远紫外激光诱发原子氧装置包括：脉冲激光器，用于输出紫外激光束；供氧单元，用于输出氧气；真空室，所述脉冲激光器和所述供氧单元均设于所述真空室外部；喷嘴，设于所述真空室内部，且所述喷嘴与所述供氧单元相连通；控制器，与所述脉冲激光器和所述供氧单元电连接，用于控制所述紫外激光束与所述氧气同步射入所述喷嘴内。利用本发明提供的装置获得的原子氧束流的能量达到5eV，束流中原子氧纯度大于95％，束流密度达到1016atom﹒cm‑2﹒s‑1以上，具有极强的加速试验能力，大大提高了原子氧地面模拟试验和评价结果的可信度和准确性，且降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 供氧单元 原子氧 脉冲激光器 喷嘴 远紫外激光 紫外激光束 束流 氧气 诱发 地面模拟试验 原子氧束流 真空室内部 加速试验 控制器 输出 可信度 电连接 室外部 真空室 射入 | ||
【主权项】：
1.一种远紫外激光诱发原子氧装置，其特征在于，包括：/n脉冲激光器(1)，用于输出紫外激光束(11)；/n供氧单元(2)，用于输出氧气；/n真空室(3)，所述脉冲激光器(1)和所述供氧单元(2)均设于所述真空室(3)的外部；/n喷嘴(4)，设于所述真空室(3)内部，且所述喷嘴(4)与所述供氧单元(2)相连通；/n控制器，与所述脉冲激光器(1)、所述供氧单元(2)电连接，用于控制所述紫外激光束(11)与所述氧气同步射入所述喷嘴(4)内。/n
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