[发明专利]可提高光束稳定性的长距离多自由度激光测量系统有效
| 申请号： | 201910799673.0 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110375652B | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 李瑞君;王勇俊;陶盼;范光照 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01M13/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可提高光束稳定性的长距离多自由度激光测量系统，是以激光束为检测光源，激光发射器固定设置在基座上，多自由度误差测量单元为光源接收端，并固定设置在与被测机床导轨滑动配合的移动平板上；针对由激光发射器输出的激光束设置保护筒，使激光束在保护筒中进行传输；通过控制保护筒内部气体温度和压强，减小沿激光束传输方向上的温度梯度和压强梯度，为传输中的激光束提供温度和压强稳定的独立环境腔。本发明能有效阻隔外界局部热源干扰，抑制激光束的漂移，有效提升长距离机床导轨运动误差检测的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 光束 稳定性 长距离 自由度 激光 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种可提高光束稳定性的长距离多自由度激光测量系统，是以激光发射器(1)发出的激光束为检测光源，所述激光发射器(1)位于被测机床导轨(2)的前端，并固定设置在基座上，多自由度误差测量单元(11)为光源接收端，所述多自由度误差测量单元(11)固定设置在与被测机床导轨(2)滑动配合的移动平板上，其特征是：针对由激光发射器(1)输出的激光束设置保护筒，使激光束在所述保护筒中进行传输；在所述保护筒的前端和后端的端面上一一对应设置气体入口和气体出口，通过控制保护筒内部气体温度和压强，减小沿激光束传输方向上的温度梯度和压强梯度，为传输中的激光束提供温度和压强稳定的独立环境腔。
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