[发明专利]可转移的透明柔性透气天线的制作方法及装置有效
申请号: | 201910800186.1 | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN110565123B | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 任天令;刘厚方;贾秀峰;邱皓川;李宇星;邵明昊;杨轶 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | C25D1/10 | 分类号: | C25D1/10;C25D1/20;H01Q1/36 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 王艳斌 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种可转移的透明柔性透气天线的制作方法及装置,其中,方法包括:通过HFSS软件模拟得到满足预设条件的天线结构设计,并根据天线结构设计确定光刻掩膜版;选择导电衬底,在导电衬底的表面旋涂一层光刻胶,并使用光刻掩膜版进行光刻,得到天线设计形状的网格结构的凹槽;由于衬底导电而光刻胶绝缘,通过电沉积将金属沉积在凹槽中;将网状天线图案转移到目标衬底上或直接从导电衬底上剥离,得到目标天线。根据本发明实施例的制作方法,具备可剥离转移的特性,可适应各种曲面,以满足在生物表面以及透明物体上面附着天线的需求,完善了物联网中对于移动终端天线功能的要求。 | ||
搜索关键词: | 转移 透明 柔性 透气 天线 制作方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种可转移的透明柔性透气天线的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:/n通过HFSS软件模拟得到满足预设条件的天线结构设计,并根据所述天线结构设计确定光刻掩膜版;/n选择导电衬底,在所述导电衬底的表面旋涂一层光刻胶,并使用所述光刻掩膜版进行光刻,得到天线设计形状的网格结构的凹槽;/n由于所述衬底导电而光刻胶绝缘,通过电沉积将金属沉积在所述凹槽中;以及/n将网状天线图案转移到目标衬底上或直接从所述导电衬底上剥离,得到目标天线。/n
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