[发明专利]双色光电探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910800279.4 申请日: 2019-08-28
公开(公告)号: CN112447869B 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 张晓东;张凯;张宝顺 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032;H01L31/036;H01L31/109;H01L31/18
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 王茹
地址: 215123 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明揭示了一种双色光电探测器及其制备方法,所述双色光电探测器包括衬底、位于衬底上的pn异质结、及位于pn异质结上的电极,所述pn异质结包括位于衬底上的n型半导体层及位于n型半导体层上的p型半导体层,所述电极包括与n型半导体层电连接的第一电极及与p型半导体层电连接的第二电极,n型半导体层和p型半导体层通过范德华力形成pn异质结。本发明的双色光电探测器采用n型材料和p型材料通过范德华力形成pn异质结,优选地采用BP二维材料和β‑Ga2O3材料通过范德华力形成BP/β‑Ga2O3异质结,p型的BP材料进行中红外探测,n型的β‑Ga2O3材料进行日盲紫外探测,该器件具有制备成本低廉、工艺简单和性能优越等优点,满足在红外、紫外探测技术领域的迫切需求。
搜索关键词: 色光 探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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