[发明专利]一种柔性高精度次镜组件调焦机构

摘要

本发明公开了一种柔性高精度次镜组件调焦机构，解决了传统调焦方式结构复杂、调焦精度差、调焦过程易出现卡滞，且调焦机构加工和装配复杂的问题。该调焦机构包括：包括底架、固定环、柔性支撑导向机构、被探环板、压电陶瓷致动器、柔性放大机构以及测量反馈传感器；底架、固定环、被探环板、柔性支撑导向机构依次安装，柔性支撑导向机构上安装被调焦次镜组件，压电陶瓷致动器和柔性放大机构为多个，并一一配合组成多个用于提供调焦量的驱动机构；多个驱动机构安装在底架和支撑导向机构之间，测量反馈传感器安装在底架上并用于测量调焦次镜组件的位移量。

主权项

1.一种柔性高精度次镜组件调焦机构，其特征在于：包括底架、固定环、柔性支撑导向机构、被探环板、压电陶瓷致动器、柔性放大机构以及测量反馈传感器；/n底架包括水平底板以及周向均布在水平底板外沿上的至少三个竖直支撑臂；竖直支撑臂一端与所述水平底板外沿固连，另一端与所述固定环固连，使得水平底板与所述固定环保持平行；/n柔性支撑导向机构包括中心盘以及沿周向均布在中心盘外圆表面，且沿中心盘径向向外伸出的至少六组柔性臂组件；/n柔性臂组件沿着中心盘的径向方向依次由第一连接部、柔性部以及第二连接部组成；/n被调焦次镜组件的次镜座底面设有与所述柔性支撑导向机构形状相适配的凹部，柔性支撑导向机构整体嵌入所述凹部并通过第一连接部固定在凹部内，同时柔性部以及第二连接部向外伸出次镜座外部；/n固定环通过至少六个第二连接部与柔性支撑导向机构相连；/n被探环板固定在被调焦次镜组件的次镜座底面；被探环板上设有至少三个凸起；/n压电陶瓷致动器和柔性放大机构均至少为三个；每一个压电陶瓷致动器与每一个柔性放大机构配合安装，组成一个驱动机构；至少三个驱动机构均布在水平底板上；至少三个驱动机构的输出端均与所述中心盘连接；/n测量反馈传感器至少三个，均固定插装在所述水平底板上，且分别与所述至少三个凸起位置一一对应。/n