[发明专利]一种激光光斑焦点的自动化检测与定位装置及方法在审
| 申请号： | 201910801966.8 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110411348A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 张超凡;毛元昊;闫申;郭川;杨子宁;王红岩;韩凯;许晓军 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/03;G01B11/06 |
| 代理公司： | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人： | 董惠文 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 提供了一种激光光斑焦点的自动化检测与定位装置，该装置的光电探测器(4)从光斑检测面(5)上的光斑入射孔探测获取经聚焦透镜(13)聚焦的激光光斑，经信号发送线(3)发送至与其相连的中央处理器(1)，中央处理器(1)根据光斑信号数据变化向经信号接收线(3)与其相连的X、Y、Z向步进电机发送移动指令，直至光斑检测面(5)移动至激光焦点处，本发明运用平移台控制模块对光斑检测面位置进行反馈调节，实现对激光聚焦焦点位置的自动化寻找，同时可实现待测样品的精确置位，且可运用滤波图像重构模块实现对微小光斑的扫描成像。本发明适用于高超真空封闭空间，具备操作简易，测量方法灵活，系统架构简单，搭建成本较低等显著优势。 | ||
| 搜索关键词： | 光斑检测 激光光斑 中央处理器 定位装置 自动化 发送 真空封闭空间 光电探测器 信号发送线 信号接收线 光斑 步进电机 待测样品 反馈调节 光斑信号 激光焦点 激光聚焦 焦点位置 聚焦透镜 控制模块 滤波图像 扫描成像 数据变化 微小光斑 系统架构 移动指令 重构模块 面位置 平移台 入射孔 焦点 检测 置位 探测 测量 简易 聚焦 灵活 移动 | ||
【主权项】：
1.一种激光光斑焦点的自动化检测与定位装置，其特征在于，它包括中央处理器(1)、信号发送线(2)、信号接收线(3)、光电探测器(4)、光斑检测面(5)、载物台(7)、聚焦透镜(13)；所述中央处理器(1)通过信号接收线(3)与光电探测器(4)连接，用于接收光电探测器(4)发送的电流信号；所述光电探测器(4)用于探测激光光信号，并将光信号线性转换成电流强度信号；所述中央处理器(1)通过信号发送线(2)分别与Z向步进电机(8)、X向步进电机(9)、Y向步进电机(10)连接，用于向所述Z向步进电机(8)、X向步进电机(9)和Y向步进电机(10)发送移动控制指令；所述光斑检测面(5)用于响应传播的激光，其固定在载物台(7)上，光电探测器(4)和聚焦透镜(13)分别设置于光斑检测面(5)的两侧，光斑检测面(5)上设有光斑入射孔，以使来自聚焦透镜(13)方向的激光光束经聚焦透镜(13)聚焦后从光斑入射孔进入光斑检测面(5)的另一侧，被光电探测器(4)探测，光电探测器(4)根据探测到的光斑信号数据变化形成电流强度信号，所述中央处理器(1)根据电流强度信号形成用于控制所述Z向步进电机(8)、X向步进电机(9)和/或Y向步进电机(10)的移动指令；所述步进电机中的X向、Y向和Z向分别对应于激光光束传播垂直方向上的左右方向、激光光束传播垂直方向上的上下方向、激光光束传播方向；所述载物台(7)由Z向步进电机(8)、X向步进电机(9)和Y向步进电机(10)共同支撑定位，与上述步进电机同步移动；所述Z向步进电机(8)、X向步进电机(9)、Y向步进电机(10)根据移动控制指令带动所述载物台(7)移动到激光光斑焦点位置。
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