[发明专利]基于单位置模型的太赫兹探针瞬态特性校准方法和系统

摘要

本申请实施例提供一种基于单位置模型的太赫兹探针瞬态特性校准方法和系统，所述方法包括以下步骤：太赫兹脉冲信号沿共面波导从左向右传输，将共面波导整体长度的居中位置设为测量参考面，测量太赫兹脉冲波形；将待测太赫兹探针的同轴端与终端连接50Ω负载的长同轴电缆连接，压接至所述测量参考面，测量太赫兹脉冲波形；将待测太赫兹探针同轴端连接的器件由终端连接50Ω负载的同轴电缆更换为偏置短路器，测量太赫兹脉冲波形；计算所述待测太赫兹探针的时域瞬态响应。本申请还提供了一个适用于以上方法的装置。与现有技术太赫兹探针校准方法和装置比较，本申请具有噪声和不确定度小的有益效果。

主权项

1.一种基于单位置模型的太赫兹探针瞬态特性校准方法，其特征在于，包括以下步骤：/n太赫兹脉冲信号沿共面波导从左向右传输，将共面波导整体长度的居中位置设为测量参考面，使采样光脉冲光斑落在所述测量参考面上，测量太赫兹脉冲波形，测得波形为υ_CPW(t)；/n将待测太赫兹探针的同轴端与终端连接50Ω负载的长同轴电缆连接，压接至所述测量参考面，测量太赫兹脉冲波形，测得波形为υ_{s_3}(t)；/n将待测太赫兹探针同轴端连接的器件由终端连接50Ω负载的同轴电缆更换为偏置短路器，压接至所述测量参考面，测量太赫兹脉冲波形，测得波形为υ′_{s_3}(t)；/n将υ′_{s_3}(t)波形分为两部分，前一部分波形为υ′_{s_3_part1}(t)，后一部分波形为υ′_{s_3_part2}(t)；/n计算所述待测太赫兹探针的频域传递函数：/nυ_{r_short}(t)＝υ′_{s_3}(t)-υ_{s_3}(t)/n /n /n其中，H_s(f)是所述待测太赫兹探针的频域传递函数，υ_{r_short}(t)是偏置短路器反射而反向传输至所述测量参考面处的信号，V_{r_short}(f)是υ_{r_short}(t)的傅里叶变换，Γ′₁(f)是共面波导左侧至太赫兹探针连接点处的频域反射系数，Z_s是太赫兹探针的特征阻抗，Z_CPW是所述共面波导的特征阻抗，V′_{s_3_part1}(f)是υ′_{s_3_part1}(t)的傅里叶变换，Γ_short(f)是所述偏置短路器的反射系数；/n将H_s(f)进行逆傅里叶变换，得到所述待测太赫兹探针的时域瞬态响应h_s(t)。/n